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エレクトロフォーミング加工

エレクトロフォーミング加工は、エッチング加工や精密切削加工などでは加工不可能な寸法精度の高いめっき金属製品の製造に適用されています。写真製版技術とめっき技術を高次元で融合させた太洋工業株式会社のエレクトロフォーミング加工製品の特徴は以下の通りとなります。


特 徴

  • エッチング加工では困難な微細穴開け加工が可能
  • ミクロンレベルで寸法制御が可能
  • 円柱状の立体構造も作製可能
  • オーバーハングタイプとストレートタイプの2種類の断面形状が作製可能
  • オーバーハングタイプとストレートタイプ
  • 金型不要でイニシャル費が安価
  • 多品種・少量生産に最適

加工用途

流体制御ノズル・精密分粒フィルター・光学用スリット板・印刷用メタルマスク・メタルスクリーン・蒸着用マスク・MEMS部品など


一般仕様

  オーバーハングタイプ ストレートタイプ
一般仕様 特殊仕様
最大ワークサイズ 400mm×300mm 400mm×300mm 50mm×50mm
最小加工穴径 10µm 20µm 5µm
寸法精度 ±5µm ※1 ±5µm ※1 ±1µm ※2
加工板厚 10〜100µm 10〜200µm 5〜25µm
アスペクト比 - 0.5〜1.2 0.5〜3
2次めっき補強
めっき材質 Ni Ni,Ni-Co,Cu Ni,Ni-Co,Cu

※1 フィルムマスク使用 / ※2 クロムマスク使用
※加工パターン、使用フォトマスク等により最終仕様は異なります。


Tメタルスクリーン印刷版

平版仕様

平坦な母型に製品加工を行う加工方法です。断面形状はオーバーハングタイプとストレートタイプ、両方の作製が可能です。

セミアディティブFPC

特殊仕様

特に高寸法精度(±1µmレベル)の要求される超微細加工に適用される加工方法です。セミアディティブFPC回路やMEMS部品の作製に適用されています。断面形状はストレートタイプとなります。

UV-LIGA応用仕様

UV-LIGA応用仕様 (開発中)

特殊仕様をさらに発展させて、高精度・高アスペクト加工を可能にします。現在開発中ですが、前述のMEMS部品やナノインプリント用モールドなどの用途が期待できます。断面形状はストレートタイプとなります。

微細加工技術

微細加工技術

・シリコンエッチング    ・ガラスエッチング    ・3次元フォトリソ  
・高アスペクトレジスト  ・サンドブラスト      ・薄膜コーティング
等の対応が可能です。